Što je fotolitografija?
Fotolitografija je jedan od važnih procesa u proizvodnji integriranih sklopova (IC ili čipova). Jednostavno rečeno, to je proces kopiranja uzorka strujnog kruga na podlogu pomoću fotomaske i fotorezista.
Podloga će biti obojana na izolacijskom sloju silicij-dioksida i fotorezistu. Fotorezist se može lako otopiti razvijačem nakon izlaganja UV svjetlu, nakon otapanja i jetkanja, uzorak strujnog kruga ostat će na podlozi.
Što je Photoresist? Zašto se UV valna duljina od 500 nm mora blokirati?
Fotorezist se kombinira sa smolama, otapalima i aditivima. Raspon osjetljivosti na svjetlo fotorezista je 200 nm-500nm. Stoga će mnogi poluvodički laboratoriji usvojiti žuto svjetlo koje blokira UV valne duljine od 500 nm kako bi se spriječile situacije preeksponiranja ili preranog izlaganja fotorezista.
